时间: 2024-04-30 00:11:26 | 作者: 陶瓷加热器
(19)国家知识产权局(12)创造专利请求(10)请求发布号 (43)请求发布日 (21)请求号 3.5(22)请求日 2021.11.29(30)优先权数据 2020.11.30 JP(71)请求人 日本碍子株式会社地址 日本爱知县(72)创造人 原朋弘海野丰(74)专利署理组织 北京银龙知识产权署理有限公司 11243专利署理师 陈彦郭玫(51)Int.Cl.H05B 3/02 (2006.01)H05B 3/18 (2006.01)H05B 3/48 (2006.01) (54)创造称号陶瓷加热器(57)摘要本创造供给一种陶瓷加热器，其意图是使其简单达到方针温度散布。作为解决方案，陶瓷加热器(10)具有：具有晶片载置面的圆盘状的陶瓷板(20)；以及设置于陶瓷板(20)的与晶片载置面相反侧的面的轴(40)。在陶瓷板(20)的内部埋设有榜首电阻发热体(21)及第二电阻发热体(22)。在从上方调查陶瓷板(20)时，在圆周方向上互相面临的榜首折回部(21b)、(21c)互相的空隙(榜首空隙(21d))与在圆周方向上互相面临的第二折回部(22b)、(22c)互相的空隙(第二空隙(22d))装备为不堆叠。权利要求书1页 说明书7页 附图11页CN 114585114 A2022.06.03CN 114585114 A
